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Product Center
产品特点：
X、Y平台皆为标准款设计，组合性强，且标准平台中标准模块方便替换
优化的线缆管理，有效减小拖链的拖拽力
重复定位精度±0.2μm，定位精度±0.5μm
适用于激光加工、3D打印、晶圆检测等超高运动精度场景
平台参数：
有效行程 | 上轴 | 100mm、200mm、300mm |
下轴 | 100mm、200mm、300mm、400mm、500mm | |
定位精度 | ±300nm | |
重复定位精度 | ±250nm | |
XY位置稳定性 | ±20nm | |
最大载荷 | 150kg | |
额定有效载荷下最大速度 | 扫描/步进轴 | 2000mm/s |
额定有效载荷下的峰值加速度 | 扫描/步进轴 | 2g |
额定有效载荷下的持续加速度 | 扫描/步进轴 | 1g |
Pitch | 2 arc sec | |
Roll | 2 arc sec | |
Yaw | 2 arc sec | |
XY直线度 | 2μm | |
XY平面度 | 3μm | |
XY正交性 | <2 arc sec | |
平均无故障时间 | 20000h | |
备注：
测试高度距台面25 毫米；
为了保护空气轴承免受欠压，建议在运动控制器/放大器输入端连接一个在线压力开关。
空气供应必须清洁，干燥至 0°F 露点，过滤至0.5μ m 或更好。
总线电压最高：220VDC
限位开关电压：5V
Diamond HH系列尺寸图：
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