ACT系列精密气浮转台【公司】-江苏集萃精凯高端装备技术有限公司

ACT系列精密气浮转台

产品描述：

转台采用超精密气浮技术和高精度机电控集成技术，可提供稳定的高速回转运动以及优异的回转精度，并兼有在轴向和径向高负载高刚度的特点。

全国热线：

4000828890

技术参数：

*所有外形尺寸均可依客户要求非标定制

产品特点

·高精度气浮轴承

采用超精密静压气浮技术，辅以双向静压预载技术，微孔节流技术和特殊均压方法，具备优秀的承载性能和可靠性。

·高性能电控系统

采用高性能力矩电机，以直驱方式消除传动损失和齿槽效应并增加控制精度，与高精度控制系统和算法集成从而获得亚微米甚至纳米级别的运动精度。

·高稳定货期

完全自主设计，采用自有超精密加工技术，以及完全可控的生产装配能力，检测能力，保证了转台的稳定交货期。

·适用场景

产品具有轴向径向高负载高刚度等特点，特别适合晶圆减薄、光学检测以及相关半导体行业的使用。同时，为电机增加的水冷装置，可以保证转台600rpm/min max的转速，连续工作，转台温度变化值0.1°C。

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