产品中心
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平台参数：
| 轴名称 | X1 | X2 | θ | Y | Z |
| 行程 | 700mm | 700mm | 360°（NIKKI） | 500mm | 50mm |
| 电子分辨率 | 10nm | 10nm | 10nm | 10nm | 10nm |
| 定位精度 | ±1μm | ±1μm | / | ±1μm | ±1μm |
| 重复定位精度 | ±0.5μm | ±0.5μm | / | ±1μm | ±0.5μm |
| 直线度 | ±0.25μm@400mm | ±0.25μm@400mm | / | ±1μm@500mm | / |
| 平面度 | ＜±1.5μm | ＜±2μm | / | ||
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