形状精度检测
测量各类工件圆度、圆柱度、直线度、平行度、平面度、同轴度、偏心度、径向轴向跳动、垂直度等几何参数。
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汽缸盖-阀门表面粗糙度、阀门角度滚柱轴承-表面粗糙，形状误差和DXF对比；
齿轮-表面粗糙度，齿根半径和形状偏差；
曲轴-表面粗糙度，倒角半径和DXF对比；
滚珠丝杠-教具、角度、形状和直线尺寸；
应用参数：
1mm垂直量程/16nm分辨率
200mm水平行程
0.5um/120mm水平直线度误差
0.125um水平数据采样间隔
XL80激光干涉仪主要检测功能:
1、激光干涉仪可以完成数控机床三轴的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量和补偿。
2、通过增加相应的测量镜组，可以完成数控机床三轴的水平和垂直方向的偏摆和俯仰角度测量，还可完成平面度、直线度、 垂直度、Pitch、Yaw的测量。增加回转轴组件RX10，可实现旋转轴(A，B，C轴)的分度精度测量和补偿。
主轴误差分析仪（SEA）根据ANSI / ASME，ISO和JIS标准来测量和分析主轴误差运动（动态和热）， 这些误差运动会在制造的工件中产生形状误差。
该分析技术在主轴性能是关键因素的非机床应用中很有用。
主轴分析仪可检测各类型主轴，转台的轴向，径向，偏摆精度。
圆度圆柱度产品可检测：
最大测量重量： 75kg
最大测量高度：500mm
最大测量直径：Ø 320 mm
最小测量直径： Ø 4 mm
径向极限误差：+/- (0.015 µm + 0.0003 x H µm) （H为工作台上方的高度。单位mm）
最高分辨率：0.5nm
数据点数（可选择）：最多 18,000 个
广泛适用于各类型工件的测量，其独到的蔡司固定台面CARAT材质桥式结构，高稳定低运动重心设计，高精度扫描测头系统及众多技术优势，确保了系统的精度及动态性能。可检测各类型产品的形位公差及外形尺寸。
应用参数：
精度0.5微米，工件重量 (kg) 100
最大扫描速度：350 mm/s
最大空间运动速度：350 mm/s
最大空间运动速度：520 mm/s
最大空间运动加速度：670mm/s²
最大量程：1000mm*700mm*500mm
长度测量误差MPE-E0/E150(ISO10360-2:2009)(mm)0.5 + L/500
适用于各种材料的表面：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射
应用参数：
最大尺寸（HWD）：89 x 203 x 203mm
反射率：0.05%-100%
纵向扫描范围：150 um
纵向分辨率：＜0.08nm
横向分辨率：0.34-16.42um 与所选物镜有关
扫描速度： ≥150 um/sec,与所选的CCD和扫描模式有关
RMS重复性：＜0.008nm, RMSσ
台阶测量：准确度 ≤ 0.8%；重复性≤0.1%
Ultra precision testing
形状精度检测
表面形貌和粗糙度测量
精密机床/测量机标定服务
测量各类工件圆度、圆柱度、直线度、平行度、平面度、同轴度、偏心度、径向轴向跳动、垂直度等几何参数。
测量各类材料表面轮廓、动态MEMS设备、薄膜分析应用、测量次纳米表面形貌、机械加工（纳米级精度零件）。 可测量平面度、粗糙度、波纹度、阶梯差等。
测量和标定超精密机床和三坐标测量机的精度。
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