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粗糙度轮廓仪
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粗糙度轮廓仪

汽缸盖-阀门表面粗糙度、阀门角度滚柱轴承-表面粗糙,形状误差和DXF对比;
齿轮-表面粗糙度,齿根半径和形状偏差;
曲轴-表面粗糙度,倒角半径和DXF对比;
滚珠丝杠-教具、角度、形状和直线尺寸;

应用参数:
1mm垂直量程/16nm分辨率
200mm水平行程
0.5um/120mm水平直线度误差
0.125um水平数据采样间隔

激光干涉仪 雷尼绍XL-80
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激光干涉仪 雷尼绍XL-80

XL80激光干涉仪主要检测功能:
1、激光干涉仪可以完成数控机床三轴的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量和补偿。
2、通过增加相应的测量镜组,可以完成数控机床三轴的水平和垂直方向的偏摆和俯仰角度测量,还可完成平面度、直线度、 垂直度、Pitch、Yaw的测量。增加回转轴组件RX10,可实现旋转轴(A,B,C轴)的分度精度测量和补偿。

主轴回转误差分析仪
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主轴回转误差分析仪

主轴误差分析仪(SEA)根据ANSI / ASME,ISO和JIS标准来测量和分析主轴误差运动(动态和热), 这些误差运动会在制造的工件中产生形状误差。 该分析技术在主轴性能是关键因素的非机床应用中很有用。
主轴分析仪可检测各类型主轴,转台的轴向,径向,偏摆精度。

圆度仪
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圆度仪

圆度圆柱度产品可检测:
最大测量重量: 75kg
最大测量高度:500mm
最大测量直径:Ø 320 mm
最小测量直径: Ø 4 mm
径向极限误差:+/- (0.015 µm + 0.0003 x H µm) (H为工作台上方的高度。单位mm)
最高分辨率:0.5nm
数据点数(可选择):最多 18,000 个

蔡司三坐标
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蔡司三坐标

广泛适用于各类型工件的测量,其独到的蔡司固定台面CARAT材质桥式结构,高稳定低运动重心设计,高精度扫描测头系统及众多技术优势,确保了系统的精度及动态性能。可检测各类型产品的形位公差及外形尺寸。
应用参数:
精度0.5微米,工件重量 (kg) 100
最大扫描速度:350 mm/s
最大空间运动速度:350 mm/s
最大空间运动速度:520 mm/s
最大空间运动加速度:670mm/s²
最大量程:1000mm*700mm*500mm
长度测量误差MPE-E0/E150(ISO10360-2:2009)(mm)0.5 + L/500

光学3D表面轮廓仪
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光学3D表面轮廓仪

适用于各种材料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射
应用参数:
最大尺寸(HWD):89 x 203 x 203mm
反射率:0.05%-100%
纵向扫描范围:150 um
纵向分辨率:<0.08nm
横向分辨率:0.34-16.42um 与所选物镜有关
扫描速度: ≥150 um/sec,与所选的CCD和扫描模式有关
RMS重复性:<0.008nm, RMSσ
台阶测量:准确度 ≤ 0.8%;重复性≤0.1%

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超精密加工

超精密检测

Ultra precision testing

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形状精度检测

测量各类工件圆度、圆柱度、直线度、平行度、平面度、同轴度、偏心度、径向轴向跳动、垂直度等几何参数。

表面形貌和粗糙度测量

测量各类材料表面轮廓、动态MEMS设备、薄膜分析应用、测量次纳米表面形貌、机械加工(纳米级精度零件)。 可测量平面度、粗糙度、波纹度、阶梯差等。

精密机床/测量机标定服务

测量和标定超精密机床和三坐标测量机的精度。

精密主轴动平衡精度检测和故障诊断

检测主轴的精度、热膨胀、圆度等; 可以进行数据采集、频谱分析等,为用户准确判断设备是否为平衡。

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