产品中心
Product Center
技术参数:
ART Series | ART- 200 | ART- 250 | ART-300 | |
台面直径 | 200mm | 250mm | 300mm | |
高度 | 82mm | 94mm | 107mm | |
中孔尺寸 | 15mm | 50mm | 70mm | |
最高转速 | >400rpm | |||
定位精度 | ±2 arc sec | |||
重复定位精度 | ±1 arc sec | |||
负载 | Axial | 100 kg | 150 kg | 200 kg |
Radial | 50 kg | 75 kg | 100 kg | |
Tilt | 10 N.m | 28 N.m | 45 N.m | |
轴向误差运动(同步) | <100nm | |||
径向误差运动(同步) | <150nm | |||
倾摆误差运动(同步) | <2 urad | <2.5 urad | <2.5 urad | |
轴向误差运动(异步) | <50 nm | |||
径向误差运动(异步) | <50 nm | |||
倾摆误差运动(异步) | <1 urad | <1 urad | <1 urad | |
供气压力 | 0.4-0.6Mpa | |||
耗气量 | <12 l/min | <15 l/min | <19 l/min | |
重量 | 21 kg | 30 kg | 39 kg |
注:
1.精度检测转速为60rpm
2.检测标准为GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000
3.检测仪器为Lion主轴分析仪以及雷尼绍自准直仪
4.环境温度为20°±0.5°C
产品特点:
•高精度的气浮轴承
ART系列采用了高精度空气静压轴承技术,可获得高精度的轴承回转精度,径向误差运动值<250nm,轴向误差运动值<100nm。
•高重复定位精度
ART系列转台采用高分率圆光栅作为反馈元件,分辨率可达0.03arcsec;
基于高分辨率的反馈精度、高回转精度气浮技术、以及优异的控制算法,可实现+-1角秒的回转定位精度,低于1角秒的重复回转精度。
•高性能电控系统
ART系列转台使用了高性能力矩电机,采用直接驱动方式,取消了传动机构,极大的提高了传动效率;通过优化的控制算法,可达到0.1arcsec左右的控制跟随误差;
•高稳定货期
完全自主的设计,自有的超精密加工技术,以及完全可控的生产装配能力、检测能力,保证了ART系列具有稳定的交货期。
尺寸图
ART-200
ART-250
ART-300
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