ART系列精密气浮转台【公司】-江苏集萃精凯高端装备技术有限公司

ART系列精密气浮转台

产品描述：

ART系列转台采用了精密气浮技术，高精度控制技术，可提供优异的角度定位和稳定回转速度。ART系列高精度气浮转台主要面向测量设备、半导体设备、激光加工设备等设备。

全国热线：

4000828890

技术参数：

注：

1.精度检测转速为60rpm

2.检测标准为GBT+17421.7-2016（ISO230-7-2006）以及GB/T17421.22000

3.检测仪器为Lion主轴分析仪以及雷尼绍自准直仪

4.环境温度为20°±0.5°C

产品特点：

•高精度的气浮轴承

ART系列采用了高精度空气静压轴承技术，可获得高精度的轴承回转精度，径向误差运动值<250nm,轴向误差运动值<100nm。

•高重复定位精度

ART系列转台采用高分率圆光栅作为反馈元件，分辨率可达0.03arcsec；

基于高分辨率的反馈精度、高回转精度气浮技术、以及优异的控制算法，可实现+-1角秒的回转定位精度，低于1角秒的重复回转精度。

•高性能电控系统

ART系列转台使用了高性能力矩电机，采用直接驱动方式，取消了传动机构，极大的提高了传动效率；通过优化的控制算法，可达到0.1arcsec左右的控制跟随误差；

•高稳定货期

完全自主的设计，自有的超精密加工技术，以及完全可控的生产装配能力、检测能力，保证了ART系列具有稳定的交货期。

尺寸图

ART-200

ART-250

ART-300