ARST系列精密气浮转台【公司】-江苏集萃精凯高端装备技术有限公司

ARST系列精密气浮转台

产品描述：

ARST系列转台采用了新型的气浮技术，高精度控制技术，可提供优异的角度定位和稳定回转速度。超薄的高度尺寸、轻量化的设计、无摩擦使得ARST系列高精度气浮转台非常适用于半导体、激光加工等设备。

全国热线：

4000828890

技术参数：

ARST Series	ARST- 100H	ARST- 200H	ARST-300H
台面直径（Tabletop Diameter）	100mm	200mm	300mm
高度（Height）	90mm	150mm	165mm
最高转速（Max Speed）	600 rpm
连续扭矩（Continuous torque）	1.4 N.m	5.9 N.m	9.4 N.m
峰值扭矩（Peak torque）	1.9 N.m	7.5 N.m	12.5 N.m
定位精度（Accuracy）	±2 arc sec
重复定位精度（Repeatability）	±1 arc sec
轴向负载能力承载（Axial load）	40 kg	200 kg	400 kg
轴向误差运动（同步）Axial Error Motion (Synchronous)	＜150nm
径向误差运动（同步）Radial Error Motion (Synchronous)	＜150nm
倾摆误差运动（同步）Tilt Error Motion (Synchronous)	＜2.5 urad	＜2.5 urad	＜2.5 urad
轴向误差运动（异步）Axial Error Motion (Asynchronous)	＜100 nm
径向误差运动（异步）Radial Error Motion (Asynchronous	＜100 nm
倾摆误差运动（异步）Tilt Error Motion (Asynchronous)	＜1 urad	＜1urad	＜1 urad
供气压力（Operating Pressure）	0.6Mpa
耗气量（Air Consumption）	＜10 l/min	＜20 l/min	＜25 l/min
质量（Total Mass）	4 kg	14 kg	30 kg

注：

精度检测转速为60rpm

检测标准为GBT+17421.7-2016（ISO230-7-2006）以及GB/T17421.22000

检测仪器为Lion主轴分析仪以及雷尼绍自准直仪

环境温度为20°±0.5°C

外形尺寸和高度均可非标定制

产品特色：

•轻量化、紧凑的结构设计

ARST系列采用了新型的轴承设计方式，采用真空预载的轴承方案，大大的减小了垂向尺寸，便于客户进行空间布局；ARST-200垂向尺寸达到了极限的60mm；

ARST系列采用了全航空铝材质，在保证功能和结构强度的前提下，进行了大量的轻量化设计，大大的降低了整机重量；由于采用铝合金转子，转动惯量极小，便于精度控制和减小电机生热；

ARST的紧凑化、轻量化设计，使得该系列转台非常适合作为负载集成到其他运动平台上。

•高回转精度

ARST系列转台在高精度气浮轴承的基础上，使用了高性能力矩电机作为执行器，降低了齿槽效应；采用了高分率圆光栅作为反馈元件，配合高性能驱控进行控制，可实现±1角秒的回转定位精度，低于1角秒的重复回转精度。

•高稳定货期

完全自主的设计，自有的超精密加工技术，以及完全可控的生产装配能力、检测能力，使整个生产过程在公司内部形成闭环，保证了ARST系列具有稳定的交货期。

尺寸图：

ARST-100

ARST-200

ARST-300