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ARS系列精密气浮转台

ARS系列精密气浮转台

产品描述:

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ARS5000-V转台主要面向半导体行业,紧凑的结构设计、配置真空吸盘、轻量化的设计、高精度的气浮轴承以及速度稳定性,是半导体设备中回转轴的不二之选。

全国热线:

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技术参数:

型号

ARS5000-V

电机参数

Apk(峰值电流)

2.25A

Arms(均值电流)

1.6A

反馈(Feedback)

非接触式编码器

精度( Resolution)

1024-65536线/转 可选

额定转速(Rated speed)

5000rpm

最大负载(Maximum load)

Radial(径向)

500N

Axial(轴向)

700N

转动惯量(Inertia)

0.001kg.m2

同步误差运动(Synchronous Error Motion)

Radial(径向)

<200nm

Axial(轴向)

<200nm

异步误差运动(Asynchronous Error Motion)

Radial(径向)

<100nm

Axial(轴向)

<100nm

 平衡等级(Balance Grade)

ISO 1940 G0.4

轴承刚度(Bearing Rigidity)

Radial(径向)

50N/um

Axial(轴向)

80N/um

质量(Mass)

9Kg

工作压力(Operating Pressure)

0.7 Mpa

耗气量( Air Consumption)

<30 L/min 

配置陶瓷吸盘尺寸

6寸/8寸

材质( Material)

轴(Shaft)

钢(Steel)

外壳(Housing)

铝(Aluminum)

注:

1.精度检测转速为3000rpm

2.检测标准为GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000

3.检测仪器为Lion主轴分析仪以及雷尼绍自准直仪

4.环境温度为20°±0.5°C


产品特点:

•高精度的气浮轴承

ARS5000-V采用了空气静压轴承技术,可获得高精度的轴承回转精度,径向及轴向回转精度均低于200nm。

•可配置真空吸盘

ARS5000-V采用了独特的真空气路设计,无需使用使用旋转接头即可为真空吸盘提供负压,不影响轴承的回转精度;

可提供真空吸盘集成服务,目前可提供6寸、8寸的各类(陶瓷、铝合金)真空吸盘,自有的加工能力,吸盘平面度可达2um以下;并可对吸盘提供动平衡矫正,动平衡精度优于ISO 1940 G0.4。

•高性能电控系统

ARS5000-V选用了高性能无框力矩电机,极大的降低了齿槽效应;最大转速可达5000rpm,峰值扭矩8N.m,连续扭矩2.3N.m;

搭配非接触式编码器,1024-65536线/转 可选;

采用高性能驱动器,可支持etherCat等多种通信协议;

•高稳定货期

完全自主的设计,自有的超精密加工技术,以及完全可控的生产装配能力、检测能力,保证了ARS5000-V具有稳定的交货期。


尺寸图

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