产品中心
Product Center
产品特点：
高精度Z向直驱平台
高精度光栅反馈
四面高刚度气浮轴承设计
无摩擦气缸配重
任意多轴组合选项（XZ、XYZ）
分辨率1nm，重复定位精度±100nm，定位精度200nm
*5mm行程系列采用音圈直接驱动，响应频率大于30Hz
平台参数：
平台型号 | Diamond AZ （气浮平升系列） | |||
有效行程 | mm | 5 | 20 | 30 |
定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.5 | ±0.75 |
重复定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 |
Yaw/Roll | arc sec | 10/10 | 20/20 | 30/30 |
直线度 | μm | ±0.5μm | ±1μm | ±1.5μm |
平台重量 | kg | 7 | 16 | 28 |
最大负载 | kg | 3 | 15 | 25 |
分辨率 | nm | 1 | ||
最大速度 | mm/s | 75 | ||
最大加速度 | g | 1 | ||
工作气压 | Mpa | 0.55±0.05 | ||
平台材质 | 铝合金 | |||
平均无故障时间 | h | 30000 | ||
备注：
测试高度距台面25 毫米；
为了保护空气轴承免受欠压，建议在运动控制器/放大器输入端连接一个在线压力开关。
空气供应必须清洁，干燥至 0°F 露点，过滤至0.5μ m 或更好。
总线电压最高：220VDC
限位开关电压：5V
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