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Product Center
产品特点：
底座加宽设计，增加中间气浮导轨，拥有更高的承载能力
承载面可安装Diamond H型平台，组合为长行程XY平台
重复定位精度±0.3μm，定位精度±0.5μm
适用于激光加工、3D打印、晶圆检测等超高运动精度场景
平台参数：
平台型号 | Diamond HW (高刚度宽体系列) | ||||
有效行程 | mm | 200 | 300 | 400 | 500 |
定位精度 | μm | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
重复定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 |
Pitch/Yaw/Roll | arc sec | ±2 | ±3 | ±4 | ±5 |
直线度 | μm | ±0.5 | ±0.75 | ±1.5 | ±2 |
平面度 | μm | ±0.5 | ±0.75 | ±1.5 | ±2 |
平台重量 | kg | 40 | 45 | 51 | 55.5 |
最大负载 | kg | 35~120 | |||
分辨率 | nm | 1 | |||
最大速度 | mm/s | 2000 | |||
最大加速度 | g | 2 | |||
工作气压 | MPa | 0.55±0.05 | |||
平台材质 | 铝合金/花岗岩/陶瓷 | ||||
平均无故障时间 | h | 30000 | |||
备注：
测试高度距台面25 毫米；
为了保护空气轴承免受欠压，建议在运动控制器/放大器输入端连接一个在线压力开关。
空气供应必须清洁，干燥至 0°F 露点，过滤至0.5μ m 或更好。
XY叠加使用上轴行程不大于400mm
总线电压最高：220VDC
限位开关电压：5V
Diamond HW500系列尺寸图：
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