产品中心
Product Center
产品结构特点：
该产品专为高性能扫描和检测而设计
采用全闭式气浮结构，具有优异的刚度特性
全闭式气浮结构
无摩擦气缸平衡
亚微米级定位精度
高精度光栅尺闭环反馈
密封防尘设计
适用于半导体和数据存储等高端制造业，精度远超传统滚珠丝杠和机械轴承的最高水平
HZ系列具有闭式气浮结构、极高的刚度和出色的几何特性，专为满足高精度性能而设计
平台参数：
平台型号 | Diamond HZ （高刚度z轴系列） | ||||
有效行程 | mm | 50 | 100 | 150 | 200 |
定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.5 |
重复定位精度 | μm | ±0.15 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.35 |
Pitch/Yaw/Roll | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±2 | ±2.5 |
直线度 | μm | ±0.4 | ±0.6 | ±0.8 | ±1 |
平面度 | μm | ±0.4 | ±0.6 | ±0.8 | ±1 |
最大负载 | kg | 30 | |||
分辨率 | nm | 1 | |||
最大速度 | mm/s | 300 | |||
最大加速度 | g | 2 | |||
工作气压 | MPa | 0.55±0.05 | |||
平台材质 | 铝合金 | ||||
平均无故障时间 | h | 20000 | |||
备注：
测试高度距台面25 毫米；
为了保护空气轴承免受欠压，建议在运动控制器/放大器输入端连接一个在线压力开关。
空气供应必须清洁，干燥至 0°F 露点，过滤至0.5μ m 或更好。
总线电压最高：220VDC
限位开关电压：5V
尺寸图
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