产品中心
Product Center
技术参数：
型号 | ACTS8 | ACTS12 | |
| 使用气源压力 | >0.5Mpa | >0.5Mpa | |
耗气量 | 25L/min | 35L/min | |
最高转速 | 4000rpm | 4000rpm | |
最大轴向承载能力(在0.55Mpa下测试) | ≥1500N | ≥3000N | |
最大径向承载能力(在0.55Mpa下测试) | ≥800N | ≥1300N | |
轴向刚度(在0.55Mpa下测试) | ≥200N/um | ≥350N/um | |
| 轴向跳动 | ≤100nm | ≤100nm | |
径向跳动 | ≤200nm | ≤200nm | |
空载动态轴向偏摆精度(在0.55Mpa下测试) | ＜10urad(主轴误差分析仪测试） | ＜10urad(主轴误差分析仪测试） | |
*所有外形尺寸均可依客户要求非标定制
产品特点
·高精度气浮轴承
采用超精密静压气浮技术，辅以双向静压预载技术，微孔节流技术和特殊均压方法，具备优秀的承载性能和可靠性。
·高性能电控系统
采用高性能永磁电机，以直驱方式消除传动损失和齿槽效应并增加控制精度，与高精度控制系统和算法集成从而获得亚微米甚至纳米级别的运动精度。
·高稳定货期
完全自主设计，采用自有超精密加工技术，以及完全可控的生产装配能力，检测能力，保证了产品的稳定交货期。
·适用场景
该主轴具有轴向径向高负载高刚度等特点，特别适合晶圆 (蓝宝石、红宝石、碳化硅等) 减薄、光学检测以及相关半导体行业的使用。同时，为电机增加的水冷装置，可以保证主轴4000rpm/min max的转速，连续工作，主轴温度变化值0.Co
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