产品中心
Product Center
平面气浮运动平台
产品描述：
应用场景
应用于晶圆检测、外观检测、形貌检测、厚度检测等晶圆检测stage工作台
产品特性
非接触式的运动特性
优异的速度稳定性
高精度运动和控制技术
精密驱控技术实现高精度定位及高加速度
全国热线：
4000828890
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优异的速度稳定性
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