产品中心
Product Center
气浮多轴运动平台
产品描述：
应用场景
应用于晶圆检测、外观检测、形貌检测、厚度检测等晶圆检测stage工作台
产品特性
非接触式的运动特性
优异的速度稳定性
高精度运动和控制技术
精密驱控技术实现高精度定位及高加速度
竞争优势
精密、超精密加工、自主加工检测、装配、测试、集成能力
核心气浮仿真技术
高度定制化全面解决方案
超精密专家研发和专业的工程团队
提供从设计、加工、生产、装配、校准、测试、售后全程服务
全国热线：
4000828890
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