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气浮双轴

气浮双轴

产品描述:

产品特性

X、Y平台皆为标准款设计,组合性强,且标准平台中标准模块方便替换

优化的线缆管理,有效减少拖链的拖拽力

重复定位精度±0.35μm,定位精度±0.5μm


产品应用

适用于激光加工、3D打印、晶圆检测等超高运动精度场景


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