产品中心
Product Center
ABO XY叠加气浮平台
产品描述：
产品用途：
激光加工，晶圆检测，晶圆划线，芯片堆叠
产品特性：
载物台气浮支撑，完全无摩擦，无磨损，无油污
亚微米级定位、重复定位精度
最大速度1000mm/s，最大加速度可达2G
直线度、平面度可达1μm
全国热线：
4000828890
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产品特性：
载物台气浮支撑，完全无摩擦，无磨损，无油污
亚微米级定位、重复定位精度
最大速度1000mm/s，最大加速度可达2G
直线度、平面度可达1μm
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