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ARHT 高速转台
产品描述：
产品用途：
广泛用于高速加工、光学扫描、检测、半导体、3C 制造、航空航天等装备
产品特性：
非接触式气浮轴承，伺服直驱力矩电机驱动
转速可达6000rpm，加速度可达1000rpm/s
轴向、径向回转误差可达200nm
极低的转动惯量，动平衡测试，优异的高速旋转动态性能
可集成设计晶圆真空吸附，提供吸盘和真空的设计方案
全国热线：
4000828890
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