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ARST 气浮转台

ARST 气浮转台

产品描述:

产品用途:

广泛应用于半导体、光学、精密检测、计量、精密加工等高端装备


产品特性:

非接触式气浮轴承,伺服直驱力矩电机驱动

轴向、径向回转误差可达250nm

提供高精度定位、速度稳定性和高分辨率反馈

低高度扁平化设计,完全自主加工

在位稳定性和最小步进量小于0.5角秒


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