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Product Center
产品用途:
广泛应用于半导体、光学、精密检测、计量、精密加工等高端装备
产品特性:
非接触式气浮轴承,伺服直驱力矩电机驱动
轴向、径向回转误差可达250nm
提供高精度定位、速度稳定性和高分辨率反馈
低高度扁平化设计,完全自主加工
在位稳定性和最小步进量小于0.5角秒
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