产品中心
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ART 气浮转台
产品描述：
产品用途：
广泛应用于半导体、光学、精密检测、计量、精密加工等高端装备
产品特性：
非接触式气浮轴承，伺服直驱力矩电机驱动
轴向、径向回转误差可达150-200nm
提供高精度定位、速度稳定性和高分辨率反馈
高精度回转部件加工技术，千分表跳动可达1-2μm
低转动惯量，高精度运动轨迹
全国热线：
4000828890
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产品用途：
广泛应用于半导体、光学、精密检测、计量、精密加工等高端装备
产品特性：
非接触式气浮轴承，伺服直驱力矩电机驱动
轴向、径向回转误差可达150-200nm
提供高精度定位、速度稳定性和高分辨率反馈
高精度回转部件加工技术，千分表跳动可达1-2μm
低转动惯量，高精度运动轨迹
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