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ABZ 气浮举升 Z 轴

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产品描述:


产品用途:

适配半导体、显示、精密光学、激光加工、检测计量等高端制造场景


产品特性:

整体尺寸紧凑,可实现30mm的垂直升降

高精度直驱,高频往复,快速对焦

高精度线性编码器实现高精度重复定位

四面高刚度气浮轴承支撑

配置重力平衡元件


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