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Product Center
产品用途:
半导体制造、电子制造设备等高精度定位、检测等场景
产品特性:
独有的空气节流技术,抑制高压供气气锤振动和微观波动
非接触性,零摩擦,维护简单
全封闭式气浮导轨,具有极高的刚度和出色的几何特性
优异的承载能力,可达100kg,可定制承载至200kg
最小分辨率1nm,可选配数字量或模拟量反馈类型
行程可达1000mm,可定制行程至5000mm
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