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ABL 气浮直线单轴

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产品描述:

产品用途:

半导体制造、电子制造设备等高精度定位、检测等场景


产品特性:

独有的空气节流技术,抑制高压供气气锤振动和微观波动

非接触性,零摩擦,维护简单

全封闭式气浮导轨,具有极高的刚度和出色的几何特性

优异的承载能力,可达100kg,可定制承载至200kg

最小分辨率1nm,可选配数字量或模拟量反馈类型

行程可达1000mm,可定制行程至5000mm


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